Das Augermikroskop ist ein Rasterelektronenmikroskop (REM) mit integriertem Halbkugelanalysator, mit dem Augerelektronenspektroskopie (AES) vorgenommen wird. Die Augerelektronen (AE), die aufgrund des Auger-Meitner-Effekts von der Probenoberfl?che emittiert werden, werden hier energieaufgel?st detektiert. Da die Energie der AE elementspezifisch ist, kann damit die lokale Verteilung der verschiedenen Elemente bestimmt werden. Aufgrund ihrer geringen Energie betr?gt die Austrittstiefe der Augerelektronen nur 1-3 nm, wodurch AES explizit eine oberfl?chensensitive Messtechnik ist.

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Das Mikroskop ist zus?tzlich mit einer fokussierten Ar-Sputterkanone ausgestattet, mit der lokal die Probenoberfl?che abgetragen werden kann. Die dabei neu freigelegte Oberfl?che kann dann wiederum mit AES untersucht werden, was bei wiederholtem Vorgehen die automatische Erstellung eines Tiefenprofils und damit eine dreidimensionale Rekonstruktion der Probenstruktur erm?glicht.

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Der Auger-Meitner-Effekt ist für schwerere Elemente weniger wahrscheinlich, da hier die Emission von R?ntgenstrahlung dominiert. Daher ist AES am besten für die Untersuchung von leichteren Elementen geeignet. Um schwere Elemente besser messen zu k?nnen, kann die AES-Messung mit einer R?ntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS) kombiniert werden.